微细加工技术期刊
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微细加工技术杂志

部级期刊

1983年创刊,双月刊,是由中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本电子类杂志,荣获"Caj-cd规范获奖期刊"等荣誉。发文领域涵盖电子电信、自动化与计算机技术、理学等方向。

产品参数:

主管单位: 信息产业部
主办单位: 中国电子科技集团公司第48研究所
出版地方: 湖南
快速分类: 电子
国际刊号: 1003-8213
国内刊号: 43-1140/TN
创刊时间: 1983
发行周期: 双月刊

微细加工技术杂志简介

《微细加工技术》杂志由信息产业部主管,中国电子科技集团公司第48研究所主办的学术性期刊。自创刊以来,杂志始终立足无线电电子学科技前沿聚焦国内外无线电电子学发展动态,致力于打造集学术研究、技术交流与行业资讯于一体的高端传播平台。

《微细加工技术》栏目主要设置有综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等多个栏目。杂志选题新颖,视角前瞻,既关注基础理论研究,也重视应用成果,兼顾学术深度与传播广度,具有信息量大、时效性强、实用性突出的特点,荣获 "Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊" 等荣誉。

微细加工技术荣誉

微细加工技术历史收录

  • Scopus数据库(2021)

文章目录

微电铸技术及其工艺优化进展研究
电子束曝光数据格式的改进设计与实现
电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究
用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制
用DMD灰度曝光法产生连续面形微结构
光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计
基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
F-DLC疏水性能的研究
微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究
陶瓷微结构的制作研究

杂志一级发文领域

领域名称 发文量
电子电信 924
自动化与计算机技术 108
理学 87
一般工业技术 73
机械工程 65
电气工程 63
金属学及工艺 43
化学工程 26
动力工程及工程热物理 5
核科学技术 4

杂志二级发文领域

领域名称 发文量
电子电信 / 物理电子学 742
电子电信 / 微电子学与固体电子学 120
自动化与计算机技术 / 控制科学与工程 94
自动化与计算机技术 / 检测技术与自动化装置 92
理学 / 物理 67
一般工业技术 / 材料科学与工程 57
理学 / 固体物理 36
金属学及工艺 / 金属学 29
机械工程 / 光学工程 25
电子电信 / 信息与通信工程 25

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