《微细加工技术》杂志由信息产业部主管,中国电子科技集团公司第48研究所主办的学术性期刊。自创刊以来,杂志始终立足无线电电子学科技前沿聚焦国内外无线电电子学发展动态,致力于打造集学术研究、技术交流与行业资讯于一体的高端传播平台。
《微细加工技术》栏目主要设置有综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等多个栏目。杂志选题新颖,视角前瞻,既关注基础理论研究,也重视应用成果,兼顾学术深度与传播广度,具有信息量大、时效性强、实用性突出的特点,荣获 "Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊" 等荣誉。
微电铸技术及其工艺优化进展研究
关键词:微电铸工艺 微影微电铸微模铸 微机电系统 选择性射流电铸
电子束曝光数据格式的改进设计与实现
关键词:电子束曝光 图形发生器 图形文件格式 套刻
电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究
关键词:穿透深度 电子束 曝光 MONTE Carlo Grun
用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制
关键词:金刚石刻划刀 衍射光栅 定向
用DMD灰度曝光法产生连续面形微结构
关键词:无掩模光刻 数字微反射镜 微透镜 阵列
光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计
关键词:干扰观测器 光刻机 掩模台 控制系统
基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
关键词:微喷芯片 PZT驱动器 回流 CFD模拟
F-DLC疏水性能的研究
关键词:F-DLC 接触角 疏水性能
微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究
关键词:1 1 2 2 H过氟癸基三氯硅烷 自组装膜 微机电系统 防粘连膜
陶瓷微结构的制作研究
关键词:陶瓷微结构 陶瓷微反应器 同步辐射曝光 压模