《微细加工技术》杂志由信息产业部主管,中国电子科技集团公司第48研究所主办的学术性期刊。自创刊以来,杂志始终立足无线电电子学科技前沿聚焦国内外无线电电子学发展动态,致力于打造集学术研究、技术交流与行业资讯于一体的高端传播平台。
《微细加工技术》栏目主要设置有综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等多个栏目。杂志选题新颖,视角前瞻,既关注基础理论研究,也重视应用成果,兼顾学术深度与传播广度,具有信息量大、时效性强、实用性突出的特点,荣获 "Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊" 等荣誉。
EUV光刻中激光等离子体光源的发展
关键词:极紫外光刻 激光等离子体 极紫外光功率 碎片污染
SPM数据可视化技术研究
关键词:SPM 数据可视化 数字图像处理 计算机图形学 Opengl
电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
关键词:电子束光刻 微三维加工 辐射降解 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
衍射光学元件在无掩模光刻中的应用
关键词:无掩模光刻 波带片 多孔透镜 分辨率 光刻对比度
化学修饰溶胶-凝胶法制备功能薄膜微细图形
关键词:微细图形 功能薄膜 溶胶-凝胶 化学修饰
激光微细熔覆快速原型制备
关键词:激光微细熔覆 快速原型制造 厚膜电容 介质膜
超细TiO2颗粒表面包覆CeO2膜的研究
关键词:超细二氧化钛 氧化铈膜 光催化活性 ζ电位 包覆
MEMS技术制作的螺线管微电感
关键词:螺线管电感 微机电系统 品质因素 射频
基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计
关键词:MEMS 微型无阀泵 数值仿真 参数设计
压电型微悬臂梁制备中RIE刻蚀硅工艺的研究
关键词:压电型微悬臂梁 反应离子刻蚀 刻蚀速度 均匀性 选择比